arXiv 1108.59862011-08-30physics.acc-ph

FLASH FEL技术用于构建下一代光刻技术的kW-scale光源的潜力

Potential of the FLASH FEL technology for the construction of a kW-scale light source for the next generation lithography

E. A. Schneidmiller, V. F. Vogel, H. Weise, M. V. Yurkov

备注：: 18 pages, 9 figures

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摘要：

汉堡自由电子激光（FLASH）的驱动引擎是一个L波段超导加速器。它被设计为在突发模式下工作，脉冲持续时间为800微秒，重复率为10 Hz。在宏脉冲期间的最大加速束流为9 mA。我们的分析表明，FLASH技术具有很大的潜力，因为它是可能的，以构建一个类似的自由电子激光工作在13.5和6.8纳米波长的平均功率高达2.6千瓦。这种光源满足下一代光刻技术对光源的物理要求。

英文摘要：

The driving engine of the Free Electron Laser in Hamburg (FLASH) is an L-band superconducting accelerator. It is designed to operate in burst mode with 800 microsecond pulse duration at a repetition rate of 10 Hz. The maximum accelerated beam current during the macropulse is 9 mA. Our analysis shows that the FLASH technology has great potential since it is possible to construct a FLASH like free electron laser operating at the wavelength of 13.5 and 6.8 nanometer with an average power up to 2.6 kW. Such a source meets the physical requirements for the light source for the next generation lithography.

机构、总结、中文摘要均由AI分析而来，可能存在错误，请以论文正文为准。

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