Hot Carrier Thermalization and Josephson Inductance Thermometry in a Graphene-based Microwave Circuit
本文利用耦合微波谐振器的多端超导器件测量 hBN 封装石墨烯的电子温度，高精度揭示电子和空穴热化规律及界面共振电子—声子冷却机制。
2022-08-29 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Current-phase relation of a WTe2 Josephson junction
本研究通过测量WTe2约瑟夫森结的电流-相位关系，发现额外电感影响测量，并开发数值方法恢复关系，揭示短弹道极限下的4π周期效应。
2023-05-11 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Plasmonic Modes in hybrid Josephson Junction Arrays
University of Regensburg（雷根斯堡大学）；CNR - Istituto Officina dei Materiali (IOM)（国家研究委员会材料研究所）
该研究通过微波表征测量外延Al-InAs量子阱上的约瑟夫森结阵列，利用低能等离激元模式提取结参数，并展示了其在面外磁场下的可调性，为量子电路和高电感应用提供支持。
2026-09-28 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Kinetic inductance in superconducting CoSi$_2$ coplanar microwave transmission lines
本研究探索CoSi$_2$作为超导量子电路材料，发现其薄膜具有显著动电感，品质因数随厚度线性增加，并分析了动电感的功率依赖性。
2023-12-22 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Tunable superconducting nanoinductors
我们表征电感器制造的超薄，约100 nm宽的铌（Nb）和氮化铌（NbN）的条带。这些纳米线在超导状态下具有大的动力学电感。动力学电感与纳米线长度成线性比例，在2.5 K的温度下，NbN的典型值为1 nH/um，Nb的典型值为44 pH/um。我们测量的动力学电感的温度和电流的依赖性，并比较我们的结果与理论预测。我们还模拟了这些纳米线的自谐振频率在一个紧凑的曲折的几何形状。这些纳米线电感元件在各种微波频率超导电路中具有应用。
2010-09-27 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Large tunable kinetic inductance in a twisted graphene superconductor
本研究将扭转三层石墨烯集成为SQUID弱连接，测得电子型与空穴型本征超导体具有高达每平方150 nH的可调谐动态电感，并给出相干长度200 nm的上限。
2024-03-04 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Gate-tunable kinetic inductance in proximitized nanowires
我们报告了在混合InAs/Al纳米线中检测到的栅极可调动态电感。为此，我们将纳米线嵌入到四分之一波长共面波导谐振器中，并测量了电路的谐振频率。我们发现，谐振频率可以通过控制电子密度的接近半导体的栅极电压，从而改变纳米线的电感。应用Mattis-Barclay理论，我们提取了纳米线的正常态电导率的栅极依赖性，以及它的超导能隙。我们的测量补充了现有的混合纳米线的表征方法，并提供了一个新的和有用的工具，门控超导电子。
2022-10-12 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Josephson-Threshold Calorimeter
我们提出了一种基于温度偏置隧道约瑟夫森结临界电流突变的单光子热探测器，该结由不同的超导体形成，工作在无耗散区。具有较低临界温度的电极被用作辐射感测元件，因此其保持热浮置并且连接到天线。由光子的吸收引起的升温可以引起结的临界电流的急剧的可测量的增强。我们提出了一种基于阈值机制的单光子或多光子探测方案。这种约瑟夫森阈值探测器确实具有量热能力，能够区分入射光子的能量。因此，对于我们讨论的实际设置，我们的探测器可以有效地作为热量计，用于从中红外到紫外的光子，特别是频率在$[30-9\times10^4]\;\text{THz}$范围内的光子。在整个可检测频率范围内，分辨率明显大于1。为了揭示这一信号，我们提出了快速测量约瑟夫森动力学电感的方法。实际上，临界电流的光子诱导的变化影响结的约瑟夫森动力学电感，其可以通过电感耦合到结的LC储能电路非侵入性地读取。最后，这种读出方案显示出显着的多路复用能力。
2019-05-28 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
A two-coil mutual inductance technique to study matching effect in disordered NbN thin films
虽然超导反点阵列中的匹配效应已经通过磁阻振荡进行了广泛的研究，但这些研究仅限于接近超导转变的非常窄的温度窗口。在这里，我们报告了一个"两线圈"互感技术，它允许研究这种现象的超导状态下，通过直接测量的屏蔽响应的磁场变化。我们演示了如何使用这种技术来解决突出的问题，在阳极氧化铝膜上生长的孔周期性阵列的超导薄膜的匹配效应的起源。
2013-09-21 cond-mat.dis-nn cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Low-loss tunable metamaterials using superconducting circuits with Josephson junctions
我们报告的实验与超导材料含有约瑟夫森结。在这些结构中，传统超材料中使用的开口环谐振器被超导回路取代，超导回路被约瑟夫森结中断，所谓的rf-SQUID。与开口环谐振器一样，这些元件可以被视为耦合到磁场的LC谐振器。超导薄膜超材料的优点在于，由于约瑟夫森结的可调谐的本征电感，可以通过施加外部直流磁场来改变rf-SQUID的谐振频率。我们目前的实验结果表明，这些设备的谐振频率的可调谐性。
2013-01-03 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Mutual and self-inductance in planarized multilayered superconductor integrated circuits: Microstrips, striplines, bends, meanders, ground plane perforations
本文介绍了多层超导体集成电路中使用的各种电感器的互感和自感的数据：信号迹线宽度从250 nm到几微米的微带线和带状线，位于同一电路层上，彼此之间的距离不同（从250 nm到几微米）和/或垂直间隔的不同层上;直角弯曲的电感;曲折的电感。给出了基本电感的互感和自感的简单解析表达式，在很宽的参数范围内，实验数据的精度优于2%。它们可用于超导集成电路的设计和数字电感提取器的校准。测量是使用在完全平坦化的制造工艺中制造的电路进行的，该工艺具有八个铌层和Nb/Al-AlOx/Nb约瑟夫森结，称为在麻省理工学院林肯实验室开发的超导体电子学的SFQ 5ee和SC 1工艺。互感随着带状线之间的距离呈指数下降，并且作为微带之间的距离的二次幂，强烈地依赖于超导接地层中的磁场穿透深度，而信号迹线的超导特性实际上是无关紧要的。互感对超导导线线宽的弱依赖性表明，超导磁通Transformers的面积-使用交流电源，超导量子比特和传感器阵列的所有数字电路的基本组成部分-与线宽的比例很差，对此类电路的集成规模施加了可预测的上限。
2021-12-15 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con physics.app-ph
Hybrid rf SQUID qubit based on high kinetic inductance
我们报道了射频SQUID（超导量子干涉器件）量子比特的发展和微波特性，该量子比特由铝基约瑟夫森结嵌入在由具有高动态电感的TiN薄膜图案化的超导回路中组成。在这里，我们证明了该系统可以提供小的物理尺寸，高的非谐性，和小的分散的设备参数。这种混合器件可以作为工具，进一步揭示完全由无序超导薄膜形成的相移纳米线量子比特中薄膜耗散和退相干的起源。
2017-09-27 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con quant-ph
Strongly non-linear superconducting silicon resonators
掺硼硅超导材料是一种很有前途的集成硅量子器件材料。特别是，它的低电子密度和适度的无序使其成为制造在微波频率下具有低损耗的大电感的合适候选物。在这里，我们实验研究共面波导谐振器中图案化的超导硅薄层的电动力学，针对三个关键属性：动态电感，内部损耗，以及这些量的变化与读出功率。我们报告的第一个观察到的杂质半导体的微波谐振与内部品质因数的几千。正如BCS框架中所预期的那样，超导硅在50-500 pH范围内呈现出与强无序超导体相当的大的片状动力学电感，其温度依赖性由Mattis-Barclay理论很好地描述。我们发现，虽然，一个意想不到的强非线性的复杂的表面阻抗，不能解释为非线性引起的depairing或准粒子加热。
2021-06-24 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Superconducting diode from flux biased Josephson junction arrays
提出了一种在约瑟夫森结磁通偏置超导电路中实现超导二极管效应的方法。到目前为止，对超导二极管效应的观察仅限于相当奇特的材料平台。在理论上，它依赖于约瑟夫森结的电流相位关系的非正弦形式。在这里，我们将展示如何在没有任何此类要求的情况下在超导电路中设计二极管效应。唯一必要的成分是标准的正弦约瑟夫森结和磁通偏置线，它们在可扩展的工业硅芯片超导设计过程中很容易获得。
2022-12-05 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Inhomogeneous Josephson junction chains for superinductance optimization
本文对参数随空间变化的约瑟夫森结链的低频阻抗进行了理论研究。我们的目标是找到最佳的空间分布，最大限度地提高链的总电感，而不会缩小低频窗口，其中链的行为作为一个电感。如果通过改变结的面积引入空间调制，我们发现，最好的结果是获得一个空间均匀的链，在文献中较早报道。通过用具有不同回路面积的SQUID表示结，可以获得对均匀结果的改进，因此可以通过施加磁场来改变电感。尽管如此，我们发现这种改进对于更长的链变得不那么重要。
2017-05-27 cond-mat.mes-hall
The quantization of a charge qubit. The role of inductance and gate capacitance
用量子力学方法求出了由两个约瑟夫森结组成的电荷量子比特的哈密顿量。量子比特的电感从一开始就包括在内。它允许在两个状态的基础上，当前的运营商的自洽推导。结果表明，电流算符在电荷和本征态基中都有非零的非对角矩阵元。它还表明，量子比特与自己的LC谐振器的相互作用对量子比特的能量有显着的影响。计算了结的非对称性和栅电容对电流算符矩阵元和量子比特能量的影响。所得结果对于两个或多个电荷量子比特通过电感线圈耦合的电路具有重要意义。
2006-01-28 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Theory of ac Josephson effect and noise in superconducting constrictions
本文综述了在电极中具有任意透明性和任意准粒子色散的约瑟夫森结中多次Andreev反射理论的最新发展。
1998-03-05 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Proximity and Josephson effects in superconducting hybrid structures
第一章：薄SN双层中的超导性。第二章：SF系统中的邻近效应。第三章：SFS结中的约瑟夫森效应。第四章：d波约瑟夫森结中节状准粒子引起的退相干。
2003-11-17 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Effect of coupling between junctions on superconducting current and charge correlations in intrinsic Josephson junctions
超导层上的电荷形成和本征约瑟夫森结堆中纵向等离子体波的产生严重改变了通过堆的超导电流。通过研究相邻约瑟夫森结中超导电流的相关性和相邻超导层中电荷的相关性，可以预测电流-电压特性中的附加特征。电荷自相关函数清楚地表明了在断点区域谐波和混沌行为之间的差异。关联函数的应用为分析耦合约瑟夫森结的电流-电压特性提供了一种强有力的方法。
2009-04-21 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Coupling of Josephson current qubits using a connecting loop
我们提出了一个三个约瑟夫森结量子比特的耦合方案，它使用一个连接环，但没有互感。本方案提供了一个大的和可调的电平分裂在实现受控非（CNOT）操作的优点。计算了CNOT运算中耦合量子比特的切换概率，证明了该CNOT门能够满足容错量子计算的要求。我们得到了耦合强度作为约瑟夫森结的耦合能量和连接环长度的函数，该连接环长度随着从可扩展设计中选择两个量子比特而变化。
2004-09-24 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Josephson current carried by Andreev levels in superconducting quantum point contacts
本文综述了超导量子点接触中超导电流流过少量通道时的直流约瑟夫森效应。Andreev能级的中心作用被强调，它携带整个超导短对称约瑟夫森结，包括隧道结。一个简单直观的观点，在量子点接触的直流约瑟夫森效应给出了在多次安德烈耶夫反射。简要讨论了超导量子点接触中临界电流的量子化。
1998-11-05 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Josephson diode effect in monolithic dc-SQUIDs based on 3D Dayem nanobridges
本文提出一种基于3D Dayem纳米桥的单片dc-SQUID超流二极管，通过打破时空对称性实现非互易库珀对输运，最大整流效率约20%，且无需环路电感，易于集成与小型化。
2023-06-22 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Charging effects in the inductively shunted Josephson junction
用于分流约瑟夫森结的阻抗的选择决定了通过电路传输的电荷是否被量化：电容性分流器使电荷离散，而电感性分流器导致连续电荷。这种差异导致了大电感L极限的矛盾。我们表明，虽然电容和电感分流结的能谱有很大的不同，它们的高频响应变得相同的大L。因此，电感分流打开了观察不受电荷噪声阻碍的充电效应的可能性。
2009-10-20 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Towards 4 formalisms description of properties of the unconventional Josephson junction and unconventional SQUIDs made by putting non-superconducting strip on the top of superconducting strip
本文提出了在超导带材上放置非超导带材的非常规约瑟夫森结（uJJ）的理论研究方法。我们工作的框架内的Ginzburg-Landau，Bogoliubov德Gennes和Usadel形式主义。对几种简单的情况，用数值方法求解了非线性偏微分方程。我们用GL和BdGe相结合的方法得到了uJJ的本征能。例我们预言了这种物理效应的发生，我们称之为拓扑迈斯纳效应。在此基础上，结合约瑟夫森结的研究现状，展望了uJJ的未来研究方向。
2010-01-13 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Direct Josephson coupling between superconducting flux qubits
我们已经证明了基于共享约瑟夫森结的两个三结通量量子比特之间的强反铁磁耦合，因此不受量子比特环的小电感的限制。通过将系统耦合到高质量的超导储能电路上，测量了耦合的符号和大小。设计修改允许不断调整耦合强度和/或使耦合铁磁性进行了讨论。
2005-03-29 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Flipping coin experiment for studying switching in Josephson junctions and superconducting wires
当用电流脉冲探测时，约瑟夫森结和超导导线表现出从超导到稳定的非零电压状态的随机切换。开关概率（所谓的S曲线）或开关电流分布的电流依赖性是控制逃逸过程的物理学的指纹。本文通过一系列开关实验，提出了独立开关事件的判据。将约瑟夫森结看作具有电流调谐开关概率的电子硬币，研究了开关事件之间的相关性对开关统计的影响。
2018-12-14 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con
Sideband-resolved resonator electromechanics on the single-photon level based on a nonlinear Josephson inductance
光机械系统中的光-物质相互作用是超灵敏探测方案[1，2]以及声子和光子量子态[3-10]产生的基础。机电系统在微波范围内实现这种光机械相互作用。在这种情况下，电容耦合装置表现出高达280 Hz的相互作用速率[11]。互补的，早期的建议[12-15]和实验[16，17]表明，电感耦合方案是可调的，并有可能达到真空强耦合制度。在这里，我们遵循后一种方法，将部分悬浮超导量子干涉器件（SQUID）集成到微波谐振器中。机械位移转化为SQUID回路中的时变通量，从而提供电感机电耦合。我们展示了一个边带解决机电系统的可调真空耦合率高达1.62 kHz，实现sub-aN Hz-1/2力的灵敏度。此外，我们研究了大机械振幅的微波谐振器的频率分裂确认大耦合。所提出的电感耦合方案显示了高潜力的SQUID为基础的机电目标的全部财富的本质非线性光力学哈密顿量。
2019-12-18 cond-mat.mes-hall quant-ph
Temperature dependence of microwave losses in lumped-element resonators made from superconducting nanowires with high kinetic inductance
本文通过反射测量分析不同拓扑的高动电感 NbTiN 纳米线微波谐振器在 1.7–6 K 的响应，发现其内部品质因数主要受额外的温度相关损耗而非热平衡准粒子限制。
2024-06-15 cond-mat.mes-hall
Magnetic field resilient high kinetic inductance superconducting niobium nitride coplanar waveguide resonators
我们表征了氮化铌（NbN）$λ/2$共面波导谐振器，这是从一个10 nm厚的薄膜上溅射沉积二氧化硅制备。对于在120°C下生长的薄膜，我们报告了与1 k $Ω$的正常平方电阻相关的超导临界温度为7.4K，导致动力学电感为192 pH/ $\Box$。我们制作的谐振腔的特性阻抗高达4.1k $Ω$和内部品质因数$Q_\mathrm{i} > 10^4$在单光子制度在零磁场。此外，在多光子区中，在6 T面内磁场以及300 mT面外磁场中，使用$Q_\mathrm{i} > 10^4$的谐振器呈现高磁场弹性。这些发现使得这种谐振器成为cQED实验的一个令人信服的选择，该实验涉及在有限磁场中操作的具有小电偶极矩的量子系统。
2021-02-09 cond-mat.mes-hall
High Kinetic Inductance Superconducting Nanowire Resonators for Circuit QED in a Magnetic Field
我们提出了基于NbTiN纳米线的超导微波频率谐振器。纳米线的小横截面使涡流的产生最小化，使得谐振器对磁场有弹性。测量的内在品质因数在$6$ T平面内磁场中超过$2\times 10^5$，在$350$ mT垂直磁场中超过$3\times 10^4$。由于它们的高特性阻抗，这些谐振器预计开发的零点电压波动的一个数量级大于标准的共面波导谐振器。这些特性使得纳米线谐振器非常适合于需要与具有小电偶极矩的量子系统强耦合并需要磁场的电路QED实验，例如单量子点和双量子点中的电子。
2015-11-05 cond-mat.mes-hall
Slow non-exponential phase relaxation and enhanced mesoscopic kinetic inductance noise in disordered superconductors
无序导体电学特性中的介观低频噪声是由于缺陷运动引起的动态量子干涉图样的结果。这已被牢固地建立，通过证明的特征部分抑制的噪声幅度的弱外部磁场的移相效果。无序正常态导体中量子干涉图样的空间相关性总是受到非弹性过程引起的指数相位弛豫的限制。本文建立了强无序超导体（超导相干长度远大于平均自由程）s波超导相中介观噪声的定量理论。我们发现超导相干长度限制了超导体中的量子干涉效应。然而，与正常相位相反，相位弛豫在超导相干长度尺度上的衰减是非指数的。这种不寻常的缓慢弛豫表现在超导体中介观噪声的增强幅度和非常薄的超导膜和导线中移动缺陷的强度/数量的幅度的特殊非线性缩放（有效地相对于超导相干长度的2D和1D）。介观噪声对动态电感元件的质量设置了自然限制。
2014-07-01 cond-mat.mes-hall
Study of Magnetic Field Resilient High Impedance High-Kinetic Inductance Superconducting Resonators
Institute of Physics, Swiss Federal Institute of Technology (EPFL)（瑞士联邦理工学院物理研究所）；Center for Quantum Science and Engineering, EPFL（苏黎世联邦理工学院量子科学与工程中心）；Department of Physics, ETH Zurich（苏黎世联邦理工学院物理系）
本研究比较了NbN和grAl超导谐振腔的性能，发现NbN在强磁场下鲁棒性更强，而grAl在低场环境下具有更高的阻抗和非线性特性。
2025-03-17 cond-mat.mes-hall cond-mat.supr-con quant-ph
Tunable ohmic environment using Josephson junction chains
我们提出了一个方案，以实现一个可调的，宽频带的耗散环境，使用双链的约瑟夫森结。两个并联链由相同的SQUID组成，具有磁通量可调电感，在每个节点处通过远大于结电容的电容相互耦合。由于这种电容耦合，系统维持具有宽频散的电磁模式。模式的内部品质因数保持尽可能高，并且通过模式到传输线的均匀耦合来引入阻尼，传输线本身连接到放大和读出电路。对于足够长的链，包含数千个结，由此产生的导纳是一个平滑的函数与微波域中的频率，其有效耗散可以通过记录发射的辐射在传输线连续监测。通过改变SQUID的电感，双链可以在高达1GHz的频带内作为可调谐欧姆电阻工作，其电阻可以扫描到电阻量子R_q =（h/4e^2）~ 6.5k Ω。我们认为，电路的复杂性是可以达到使用当前的约瑟夫森结技术。
2018-05-17 cond-mat.mes-hall
A ballistic graphene superconducting microwave circuit
约瑟夫森结（JJ）是微波量子线路的基本元件，如可调谐腔、量子比特和参量放大器。最近开发的封装的石墨烯JJ，具有在微米距离尺度上延伸的超电流，作为量子线路的新构建块具有令人兴奋的潜在应用。尽管如此，该技术的微波性能尚未被探索。在这里，我们展示了一个微波电路的基础上弹道石墨烯JJ嵌入在超导腔。我们直接观察到一个门可调约瑟夫森电感通过设备的谐振频率，并使用一个详细的RF模型，我们提取这个电感定量。我们还观察到器件的微波损耗，并将其转化为μeV能量尺度下结的子隙电阻，这在DC测量中是不可访问的。我们在这里观察到的微波性能表明，石墨烯约瑟夫森结是实现相干量子线路的可行平台。
2018-10-05 cond-mat.mes-hall
High-kinetic inductance NbN films for high-quality compact superconducting resonators
本研究证明基于NbN薄膜的高动力学电感谐振器具有高内部品质因子、高阻抗及长期稳定性，为制造紧凑、高阻抗、高质量的多模电路开辟了前景。
2023-02-27 cond-mat.mes-hall physics.app-ph quant-ph
Gate-tunable kinetic inductance parametric amplifier
本文提出一种基于邻近化半导体纳米线、无约瑟夫森结的栅极可调谐参量放大器，实现近量子极限性能、20 dB以上增益和30 MHz增益带宽积，并具备高饱和功率、磁场兼容性和电场调谐优势。
2024-02-23 cond-mat.mes-hall quant-ph
Measuring kinetic inductance and superfluid stiffness of two-dimensional superconductors using high-quality transmission-line resonators
提出一种利用高品质因数超导谐振器测量范德华超导体动态电感和损耗的新技术，通过等效电路模型提取超导参数，并在铝和二硒化铌中验证了其准确性与应用潜力。
2024-10-17 cond-mat.mes-hall cond-mat.mtrl-sci cond-mat.supr-con
High Impedance Josephson Junction Resonators in the Transmission Line Geometry
本文实验研究了嵌入传输线几何结构中的约瑟夫森结微波谐振器，发现高耦合电容使其表现为集总元件谐振器，并推导出输入输出耦合的最大值公式。
2023-09-19 cond-mat.mes-hall quant-ph
Direct measurements of tunable Josephson plasma resonance in the L-SET
在一个受驱动的介观约瑟夫森振荡器中测量了相位动力学，其中谐振由磁通量或约瑟夫森电感的栅极电荷调制来调谐。现象进行了分析的“相粒子图片”，并通过数值电路模拟。类比开关的直流偏置结电压状态进行了讨论。本文综述了最近研制成功的基于受激振荡器的电感单电子晶体管（L-SET）的工作原理。所获得的电荷灵敏度意味着与最好的rf-SET相当的性能已经达到了与新的设备。
2004-08-03 cond-mat.mes-hall
Period-doubling-bifurcation readout for a Josephson qubit
基于外泵浦非线性谐振电路中的参量倍周期分岔，提出了一种阈值检测器及其工作原理。交流驱动的谐振电路包括一个直流电流偏置的约瑟夫森结，确保参数频率转换（倍周期分岔），由于其二次非线性。在驱动的半频处的振荡的急剧开始允许检测有效电感的小变化，并且因此允许读出耦合的约瑟夫森量子位的量子态。比较了该电路与常规约瑟夫森分岔放大器的分岔特性，并讨论了其可能的优点。
2011-01-14 cond-mat.mes-hall quant-ph
Millimeter-Wave Four-Wave Mixing via Kinetic Inductance for Quantum Devices
毫米波超导器件为1 K以上温度下的量子实验提供了平台，并为研究强耦合体系中的光-物质相互作用提供了新的途径。利用与薄膜材料的动力学电感相关的本征非线性，我们实现了毫米波频率的四波混频，展示了超导量子系统的关键组成部分。我们报告的性能的氮化铌谐振器约100 GHz的，在薄（20-50 nm）的原子层沉积生长的薄膜，与片电感高达212 pH/平方和临界温度高达13.9 K。对于厚度大于20 nm的薄膜，我们测量品质因数从$1$ - $6\times 10^4$，可能受到两级系统的限制。最后，我们测量了95 GHz器件的简并参数转换，其正向效率高达+16 dB，为毫米波频率下非线性量子器件的发展铺平了道路。
2019-09-03 cond-mat.mes-hall physics.app-ph quant-ph
