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arXiv 2004.016822020-04-03physics.app-phcond-mat.mes-hall

石墨烯的透射氦离子显微镜研究

Transmission Helium Ion Microscopy of Graphene

Karen L. Kavanagh, Aleksei Bunevich, Mallikarjuna Rao Motapothula

备注：: Draft of a conference proceedings paper: Ion Beam Analysis 2019 - to be published in Nucleation Instruments and Methods in Physics Research. Section B, Beam interactions with materials and atoms

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摘要：

我们比较了透射氦离子显微镜（HIM）和透射电子显微镜（TEM）的石墨烯支撑膜。我们提出了斑点传输模式，比较散射和材料中的离子范围（SRIM）的预测，并显示扫描他$^+$传输图像的例子，基于集成的相机强度。我们还考虑了相干HIM散射的潜力。

英文摘要：

We compare transmission He ion microscopy (HIM) to transmission electron microscopy (TEM) of graphene support films. We present spot transmission patterns that compare with scattering and range of ions in materials (SRIM) predictions, and show examples of scanning He$^+$ transmission images, based on integrated camera intensity. We also consider the potential for coherent HIM scattering.

机构、总结、中文摘要均由AI分析而来，可能存在错误，请以论文正文为准。

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