医学 AI

Single-step laser patterning and thinning of biocompatible MEMS flow sensor

单步激光打标和薄化生物相容性MEMS流量传感器

Mohammad Nizar Mohamed Zukri, Muhammad Salman Al Farisi, Yoshihiro Hasegawa, Mitsuhiro Shikida

专题命中 健康监测 ：biomedical(abstract)

AI总结 本研究提出单步光纤激光微加工技术，用于制造生物相容性、自由站立的MEMS热流量传感器，实现高热响应和低生产成本。