法布里-珀罗共振位移作为一种新型非破坏性原位表面损伤诊断方法
Fabry-Pérot Resonance Shifts as a Novel Non-destructive In Situ Surface Damage Diagnostic
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中文总结 AI 辅助
本文提出一种基于法布里-珀罗光学腔共振位移的非破坏性原位表面损伤诊断方法，可探测半导体异质结构表面升华，并适用于其他损伤机制，在真空下验证，适用于任何运行环境。
中文摘要 AI 辅助
当前纳米结构电子器件的表面损伤评估需要专用设备或设计运行环境之外的条件，无法用于表面损伤的原位评估。在本工作中，我们开发了一种非破坏性方法来探测半导体异质结构的表面升华，该方法可应用于其他半导体损伤机制。该方法利用包含表面和集成在经历升华的半导体异质结构下方的分布式布拉格反射镜的光学腔的共振位移。我们在真空下演示了该技术，但表面损伤效应可以在任何运行环境中原位或异位观察到。
英文摘要
Current surface damage evaluation for nanostructured electronic devices requires specialized equipment or conditions outside the designed operating environment and cannot be used for in situ evaluation of surface damage. In this work, we developed a non-destructive method to probe the surface sublimation of a semiconductor heterostructure which can be applied to other semiconductor damage mechanisms. This approach employs shifts in the resonances of an optical cavity comprising the surface and an integrated distributed Bragg reflector fabricated below the semiconductor heterostructure undergoing sublimation. We performed the demonstration of this technique under vacuum, but surface damage effects can be observed in any operational environment either in situ or ex situ.
发表机构
- Old Dominion University（老道明大学）
- Thomas Jefferson National Accelerator Facility（托马斯·杰斐逊国家加速器设施）
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