从科学文献中挖掘：材料科学中原子层沉积与刻蚀的过程模式
Mined from Scientific Literature: Process Schemas for Atomic Layer Deposition and Etching in Materials Science
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中文总结 AI 辅助
针对ALD和ALE文献报道不一致的问题，提出四个专家评审的JSON模式，结构化材料、工艺条件等，支持文献提取与结构化发布。
中文摘要 AI 辅助
原子层沉积（ALD）和原子层刻蚀（ALE）在材料科学的实验和模拟文献中报道方式各异，阻碍了比较和机器可操作的复用。我们提出了四个经领域专家评审的JSON模式，用于ALD和ALE的实验及模拟过程。这些模式通过schema-miner进行整理，并基于schema-miner pro在QUDT上建立语义基础，结构化地组织材料、工艺条件、配置以及测量或预测的结果。我们比较了它们的范围、结构和语义基础，并展示了它们在模式引导的文献提取以及通过ORKG模板发布结构化记录方面的应用。
英文摘要
Atomic layer deposition (ALD) and atomic layer etching (ALE) are reported heterogeneously across experimental and simulation literature in materials science, hindering comparison and machine-actionable reuse. We present four domain-expert-reviewed JSON Schemas for ALD and ALE experimental and simulation processes. Curated with schema-miner and grounded in QUDT using schema-miner pro, the schemas structure materials, process conditions, configurations , and measured or predicted results. We compare their scope, structure, and semantic grounding, and demonstrate their use for schema-guided literature extraction and publication of structured records through ORKG templates.
发表机构
- TIB Leibniz Information Centre for Science and Technology（莱布尼茨科学技术信息中心）
- Eindhoven University of Technology（埃因霍温理工大学）
- University of Warwick（华威大学）
- L3S Research Center, Leibniz University of Hannover（汉诺威莱布尼茨大学L3S研究中心）
机构由 AI 辅助整理，请以论文原文为准。
