A multiphysics model for high frequency optomechanical sensors optically actuated and detected in the oscillating mode

微米尺度液体的多物理场光力传感

Multiphysics optomechanical sensing of a liquid on the micron scale

本文提出一种悬浮硅微盘光力传感平台，利用解析模型在微米尺度同时测定静止流体的折射率、热导率、粘度、密度和可压缩性，实现70微秒内低功耗的多物理场表征。

光学力驱动硅纳米光机械器件Casimir力和van der Waals力的严格分析

Rigorous analysis of Casimir and van der Waals forces on a silicon nano-optomechanical device actuated by optical forces

在这篇文章中，我们严格分析的色散力（卡西米尔和范德华力）的影响的纳米光学机械设备的基础上的硅波导和二氧化硅衬底，周围的空气和驱动的光学力。色散力的计算使用修改的Lifshitz理论，以考虑到器件的厚度和材料的介电常数，这是从实验获得的光学数据，并通过严格的三维FDTD模拟验证。我们还考虑到波导的机械非线性，这是由于其相对于其厚度的大偏转，由于纳米器件的尺寸。非线性力学分析模型也验证了使用三维有限元模拟。我们的研究结果表明，在适当的设计条件下，有可能达到一个没有拉在临界点，由于只有光的力量，因此，在原则上，这将是可能的，仅通过控制光功率来控制设备的总偏转。然而，色散力通常对器件施加临界点的拉力，并在波导和衬底之间建立最小的初始间隙。此外，我们表明，可以利用几何非线性效应，以避免或尽量减少拉，因此，设备崩溃。

多模态双稳态微机械振荡器中的光致跃迁

Optically Actuated Transitions in Multimodal, Bistable Micromechanical Oscillators

本研究在弱阻尼微机械谐振器中发现由杜芬非线性、模间耦合与热涨落共同作用的新型光机械非线性，利用随机边带实现双稳态概率跃迁，揭示多模耦合下的类似效应及能量交换率的大幅变化，为光机械器件等领域提供新方向。

硅光机械谐振器的静电驱动

Electrostatic actuation of silicon optomechanical resonators

光学机械系统提供了一种最灵敏的方法，用于使用光学机械谐振器的光学谐振频率的偏移来检测机械运动。目前，这些系统用于测量机械热噪声位移或由光学力致动的机械运动。先前已经示出了用于滤波器和振荡器中的硅微机电谐振器的静电电容致动和检测。在这里，我们展示了单片集成的静电电容驱动与光学传感使用硅光机械盘谐振器和波导。当输入电信号的频率为235MHz时，对应于硅微盘的径向振动模式，电激励的机械运动被观察为光强调制。

空腔压电光学机械学：压电激励的光学转换光学机械谐振器

Cavity piezooptomechanics: piezoelectrically excited, optically transduced optomechanical resonators

我们提出了一种单片集成氮化铝（AlN）光机械谐振器，其中的机械运动由压电力驱动，位移由一个高Q值的光学腔转换。AlN光机械谐振器通过一个小的气隙从射频电极激发，以消除谐振器到电极的损耗。我们观察到电激励的机械运动在47.3 MHz，1.04 GHz，和3.12 GHz，分别对应于第一，第二，和第四径向轮廓模式的车轮谐振器。一个等效电路模型来描述所观察到的Fano谐振频谱。

Piezo-optomechanical cantilever modulators for VLSI visible photonics

Visible-wavelength very large-scale integration (VLSI) photonic circuits have potential to play important roles in quantum information and sensing technologies. The realization of scalable, high-speed, and low-loss photonic mesh circuits depends on reliable and well-engineered visible photonic components. Here we report a low-voltage optical phase shifter based on piezo-actuated mechanical cantilevers, fabricated on a CMOS compatible, 200 mm wafer-based visible photonics platform. We show linear phase and amplitude modulation with 6 V$_π$-cm in differential operation, -1.5 dB to -2 dB insertio…